蜂丰客全方位突破微球技术,,补齐CMP抛光垫产业链拼图

所属分类: 媒体报道

发布时间: 2024-03-15

概要: CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品。。。。

蜂丰客作为一家在材料领域深耕了二十多年的创新平台型企业,,,,所做的材料产品有微颗粒表征、、、、微量杂质控制和微米级控制精确度的共同特征,,在共性中整合了技术,,打通了产品间的技术逻辑,,,,掌握了最全面的微球技术。。

其中,,,蜂丰客从早期的彩色化学碳粉产品、、、磁性载体中掌握了有机聚合物微球以及无机微球两大类的球体技术,,并延伸到半导体材料领域,,助力蜂丰客研发了抛光液用纳米研磨粒子及抛光垫关键原材料CMP抛光垫用可膨胀空心微球。。。


图丨蜂丰客微米级核壳结构实心微球形貌

蜂丰客磁性载体是微米级核壳结构实心微球,,,蜂丰客依托无机陶瓷材料及高分子合成技术平台,,,实现了硅树脂合成、、、载体包覆以及载体芯材合成。。。。


图丨蜂丰客纳米级实心无机微球形貌

抛光液用纳米研磨粒子是一种纳米级实心微球。。。。结合化学彩色碳粉中的粒径调控、、、形状控制以及正负电胶体稳定性控制等技术,,,,实现了这种纳米级实心球体定制化,,,能够根据客户需要调节形貌、、电势、、粒径等特性。。。


图丨蜂丰客微米级有机聚合物微球形貌

蜂丰客的彩色化学碳粉和CMP用可膨胀空心微球是一种核壳结构的有机聚合物微球。。依托物理化学及高分子合成技术平台,,,运用自由基悬浮聚合、、聚酯合成、、、、有机无机杂化等关键技术实现了聚烯烃树脂、、、聚酯树脂、、、、苯丙树脂等关键原材料的合成。。。

其中,,,,CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品,,,,全球一直被美资企业独家供应。。2021年,,,这家独供企业宣布停产,,一纸告知函引发了全球CMP抛光垫厂商的震荡。。。也是在同年,,,蜂丰客CMP单月销量破万,,抛光垫武汉二厂也在同年投产,,从市场占有率和产能建设上都坐实了国内CMP抛光垫龙头企业的身份。。。。为了保障CMP抛光垫供应链的安全,,,蜂丰客启动了微球自主化项目。。



标准尺寸微球


Pad剖面图

CMP抛光垫用微球也被称为热膨胀聚合物微球,,是以气密性单体形成的聚合物为壳层、、、、发泡剂为内核形成的聚合物粒子,,,,在温度高于发泡剂沸点和聚合物软化温度时可高度膨胀。。。要先将单体和发泡剂通过悬浮聚合的方式合成未发泡的微球,,,再经过合适的发泡温程实现理想的放大倍率。。。这种微球在抛光垫成品中的用量不到5%,,但在整块抛光垫中占有30%以上的体积。。。在微观层面上形成孔隙,,承载抛光液,,提供化学腐蚀所需的微反应场所,,,对抛光垫去除速率、、、抛光缺陷以及平坦化效率等指标都有着至关重要的作用。。。



发泡前


发泡后

2023年,,蜂丰客结合物理化学及高分子合成等多项平台技术,,,攻克了微球开发配方复杂、、单体种类繁多、、、、组成多变、、、粒径大小及均一性难控制、、、、表面形貌要求高、、、发泡易粘黏等一系列难点以及微球发泡工艺不稳定等问题,,,开发出属于蜂丰客公司的空心微球系列产品,,性能指标与原厂媲美。。


CMP抛光垫是蜂丰客向半导体材料行业转型的第一款产品,,,也是蜂丰客理解最深刻的一款半导体材料产品。。。。在研发布局时就同步实现了预聚体、、、缓冲垫等关键原材料的自研自产,,,,其他材料上也培养了国产供应商。。。。2023年,,蜂丰客自研的CMP抛光垫用微球实现量产,,补齐了国产CMP抛光垫产品最后一块供应链拼图。。同时,,蜂丰客还启动了1000L微球产能升级项目,,预计今年第二季度投产,,,,这部分产能可覆盖中国CMP抛光垫市场的全部需求。。。。


蜂丰客在“卡脖子”材料领域深耕了二十多年,,,,对“国产化”有深刻理解,,对供应链安全有敏锐的察觉。。。。在关键时刻向行业展现“蜂丰客格局”,,运用成熟的微球技术为行业解决更多问题,,,用开放的心态助力行业发展。。

关键词: 蜂丰客全方位突破微球技术,,,,补齐CMP抛光垫产业链拼图

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